[实用新型]一种光刻机专用基片定位装置有效
| 申请号： | 201720919522.0 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN207037328U | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张华丽;陈科;冒卫星;黄明宇 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 顾森燕 |
| 地址： | 226000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种光刻机专用基片定位装置，包括基座，支撑杆，光源定位杆及基片定位杆，其中基座通过螺栓固定在底座上，而支撑杆固定在基座上表面，所述光源定位杆固定在支撑杆顶端，其自由端具有半圆环卡在光刻机的光源上，所述基片定位杆固定在基座侧面，其自由端具有基片定位环，且基片定位杆与光源定位杆平行，同时基片定位环圆心与半圆环圆心及光源中心在同一垂直线上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 专用 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻机专用基片定位装置，包括光刻机以及安装在光刻机底座上的定位装置，其特征在于：所述定位装置包括基座，支撑杆，光源定位杆及基片定位杆，其中：基座通过螺栓固定在底座上，而支撑杆固定在基座上表面，所述光源定位杆固定在支撑杆顶端，其自由端具有半圆环卡在光刻机的光源上，所述基片定位杆固定在基座侧面，其自由端具有基片定位环，且基片定位杆与光源定位杆平行，同时基片定位环圆心与半圆环圆心及光源中心在同一垂直线上。
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