[实用新型]一种MEMS芯片有效
| 申请号： | 201720752030.7 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN207124763U | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 郝红蕾;李江龙;马路聪;田昕 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS芯片，包括衬底，以及通过支撑部支撑在衬底上方的极板；还包括用于与极板构成平板电容器结构的敏感膜；所述敏感膜包括敏感膜本体，以及设置在敏感膜本体边缘且偏离敏感膜本体延伸方向的限位部；所述支撑部的内壁上设置有与敏感膜本体延伸方向一致的第一凹槽，以及与第一凹槽连通且延伸方向与限位部一致的第二凹槽；所述敏感膜本体的边缘穿入第一凹槽内，且限位部伸入至第二凹槽中。本实用新型的MEMS麦克风芯片，摒弃了传统振膜与衬底固定连接的方式，使得可以完全释放敏感膜的内应力，从而提高了麦克风芯片的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片 | ||
【主权项】：
一种MEMS芯片，其特征在于：包括衬底(1)，以及通过支撑部支撑在衬底(1)上方的极板(5)；还包括用于与极板(5)构成平板电容器结构的敏感膜；所述敏感膜包括敏感膜本体(3)，以及设置在敏感膜本体(3)边缘且偏离敏感膜本体(3)延伸方向的限位部(30)；所述支撑部的内壁上设置有与敏感膜本体(3)延伸方向一致的第一凹槽(6)，以及与第一凹槽(6)连通且延伸方向与限位部(30)一致的第二凹槽(7)；所述敏感膜本体(3)的边缘穿入第一凹槽(6)内，且限位部伸入至第二凹槽(7)中。
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