[实用新型]一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构

摘要

本实用新型公开了一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构，包括石墨托盘、衬底架外框片槽、衬底外框安装留槽、衬底架石墨外框、石墨衬底架、方形片槽、衬底块安装留槽、方块衬底，圆形衬底和石墨垫片，与现有技术相比，本实用新型让生长人员可以根据自己的需要，既可以将已经切割成块的衬底直接生长外延结构，也可以照传统的方法在一整块圆衬底上先生长完外延结构再切割，而且还可以将不同衬底在相同条件下生长的外延结构同时进行材料测试和器件性能测试的对比，新旧工艺非常兼容，而且很便于生长者根据实际需要选择方案生长及研究不同衬底对生长结果的影响等问题。

主权项

一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构，其特征在于：包括石墨托盘、衬底架外框片槽、衬底外框安装留槽、衬底架石墨外框、石墨衬底架、方形片槽、衬底块安装留槽、方块衬底，圆形衬底和石墨垫片，所述石墨托盘上设置有三个正六边形的衬底架外框片槽，所述衬底架外框片槽的边缘上设置多个所述衬底外框安装留槽，所述衬底架石墨外框为三个，三个所述衬底架石墨外框位于所述衬底架外框片槽内，所述石墨衬底架为圆形，所述石墨衬底架位于所述衬底架石墨外框内，所述石墨衬底架内的底部设置所述石墨垫片，所述石墨垫片上设置有所述圆形衬底，所述圆形衬底上设置有四个正方形的方形片槽，所述方形片槽的边缘设置所述衬底块安装留槽，所述方块衬底位于所述方形片槽内。