[实用新型]MEMS微反射镜设备和电气装置有效
| 申请号： | 201720309648.6 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN206751385U | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | E·杜奇;L·巴尔多;R·卡尔米纳蒂;F·F·维拉 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了MEMS微反射镜设备和电气装置。一种用于从采用半导体材料的单体本体(104)中制造MEMS微反射镜设备的工艺。初始地，掩埋空腔(106)形成于该单体本体中并且在底部界定悬置膜(105)，该悬置膜被安排在该掩埋空腔(106)与该单体本体(104)的主表面(104A)之间。然后，对该悬置膜(105)进行限定以便形成支撑框架(115)和可移动质量块(114)，该可移动质量块可围绕轴线(C)旋转并且由该支撑框架(115)承载。该可移动质量块形成振荡质量块(107)、支撑臂(109)、弹簧部分(111)以及梳齿连接至固定电极(113)的可移动电极(112)。在该振荡质量块(107)的顶部上形成反射区域(145)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 反射 设备 电气 装置 | ||
【主权项】：
一种MEMS微反射镜设备，其特征在于，包括采用半导体材料的单体本体，所述单体本体具有第一主表面和第二主表面，其中，所述单体本体具有从所述第二主表面延伸的开口并且包括单晶半导体材料的悬置膜，所述悬置膜在所述开口与所述单体本体的所述第一主表面之间延伸；其中，所述悬置膜包括支撑框架和可移动质量块，所述可移动质量块由所述框架承载并且可围绕与所述第一主表面平行的轴线旋转；并且反射区域在所述可移动质量块之上延伸。
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