[实用新型]镀膜机膜片公转结构有效
申请号: | 201720181792.6 | 申请日: | 2017-02-27 |
公开(公告)号: | CN206477023U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 刘忠兴 | 申请(专利权)人: | 江阴市中兴光电实业有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)32260 | 代理人: | 张欢勇 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种镀膜机膜片公转结构,涉及镀膜机技术领域,该镀膜机膜片公转结构包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘,所述定轴的上端部固定在罩体的顶部,所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮,所述驱动齿轮由外部电机带动转动,驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动,进一步带动转筒转动,所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承,所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承。双轴承设置有利与转筒的稳定转动,减少轴承的卡死。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 膜片 公转 结构 | ||
【主权项】:
一种镀膜机膜片公转结构,包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘,所述传动机构主要包括一个驱动齿轮,所述罩体固定在底盘上,转筒底部可以设置用于挂载基片的镀膜伞架,其特征在于:所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔,所述定轴的上端部固定在罩体的顶部,所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮,所述驱动齿轮由外部电机带动转动,驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动,进一步带动转筒转动,所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承,所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承。
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