[实用新型]对应硅片精密对准倒片装置的腐蚀笼有效
| 申请号： | 201720030701.9 | 申请日： | 2017-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN206497878U | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 施炜青;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司31203 | 代理人： | 袁威 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及对应硅片精密对准倒片装置的腐蚀笼，腐蚀笼本体的中心处设有旋转轴，两端设有固定活动花杆，固定花杆和配合花杆的挡板；活动花杆在挡板处设有活动槽，活动槽为圆弧状，轴心为腐蚀笼本体的回转中心；活动花杆和固定花杆分别设有对应的卡槽。活动花杆和固定花杆配合固定硅片，活动花杆设有活动槽，方便硅片的夹持和取下，配合花杆的增加可为硅片在360°上都可以提供充足的转向动力。本实用新型方便安装，高效腐蚀，减少损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 对应 硅片 精密 对准 装置 腐蚀 | ||
【主权项】：
对应硅片精密对准倒片装置的腐蚀笼，其特征在于，包括：腐蚀笼本体(1)，所述腐蚀笼本体(1)的中心处设有旋转轴，两端设有固定活动花杆(2)，固定花杆(3)和配合花杆(5)的挡板；所述活动花杆(2)在挡板处设有活动槽(4)，所述活动槽(4)为圆弧状，轴心为腐蚀笼本体(1)的回转中心；所述活动花杆(2)和固定花杆(3)分别设有对应的卡槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海申和热磁电子有限公司，未经上海申和热磁电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720030701.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种低烟无卤且能垂直敷设的电缆
- 下一篇：一种阻燃防火型信号传输控制电缆
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
