[发明专利]一种适用于激光剥离前蓝宝石片抛光装置及抛光方法在审
| 申请号： | 201711459232.3 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108284352A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 邹庆龙;陈党盛;王亚洲 | 申请（专利权）人： | 映瑞光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 周乃鑫 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于激光剥离前蓝宝石片抛光装置及其抛光方法，包含：机台；用于支撑所述机台的机架；抛光头，其第一端通过一连接件与机台连接；其第二端用于在对晶圆抛光时，与晶圆的待抛光面接触；真空吸附平台，其设置在机架上，位于抛光头下方，其用于通过真空吸附固定晶圆；第一驱动机构，其与抛光头连接，用于控制抛光头进行自转的同时还沿着任意方向自由摆动。本发明具有减小晶圆受力，提高成品率，降低钻石抛光液的使用量，降低抛光成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光头 机台 晶圆 激光剥离 蓝宝石片 抛光装置 抛光 第一驱动机构 真空吸附固定 真空吸附平台 晶圆抛光 抛光成本 自由摆动 成品率 第一端 连接件 抛光面 抛光液 自转 减小 受力 钻石 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种适用于激光剥离前蓝宝石片抛光装置，其特征在于，包含：机台；用于支撑所述机台的机架；抛光头，其第一端通过一连接件与所述机台连接；其第二端用于在对晶圆抛光时，与所述晶圆的待抛光面接触；真空吸附平台，其设置在所述机架上，位于所述抛光头下方，其用于通过真空吸附固定所述晶圆；第一驱动机构，其与所述抛光头连接，用于控制所述抛光头进行自转的同时还沿着任意方向自由摆动。
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