[发明专利]一种钯/陶瓷复合薄膜在审
| 申请号： | 201711442671.3 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109957772A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李帅;吕琴丽;何迪;张华;王树茂;蒋利军 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钯/陶瓷复合薄膜，该复合薄膜负载于多孔载体上，该复合薄膜由金属钯或钯合金与陶瓷复合而成，其中钯或钯合金的体积占比为30‑99％。该复合薄膜采用物理气相沉积法制备；优选采用磁控溅射法制备，通过同时溅射钯或钯合金靶和陶瓷靶而获得所述复合薄膜。本发明通过对钯膜与陶瓷进行复合，一方面使陶瓷颗粒弥散分布于连续的钯或钯合金中，对钯晶界起到钉扎作用，增加钯晶粒高温晶粒长大和粗化的难度；另一方面，陶瓷的引入可以起到调节钯膜热膨胀系数的作用，降低钯膜与陶瓷或玻璃的热膨胀失配，提高钯膜的高温结构稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 复合薄膜 钯合金 钯膜 陶瓷复合薄膜 陶瓷 热膨胀 高温结构稳定性 陶瓷颗粒弥散 物理气相沉积 热膨胀系数 磁控溅射 多孔载体 晶粒长大 陶瓷复合 金属钯 陶瓷靶 钯晶粒 粗化 钉扎 溅射 晶界 失配 优选 玻璃 复合 引入 | ||
【主权项】：
1.一种钯/陶瓷复合薄膜，该复合薄膜负载于多孔载体上，其特征在于，该复合薄膜由金属钯或钯合金与陶瓷复合而成，其中钯或钯合金的体积占比为30‑99％。
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