[发明专利]一种基于PVD的表面梯度薄膜制备装置在审
| 申请号： | 201711416200.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108103446A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 朴钟宇;余光磊;郑秋阳;周仁泽;周振宇 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/58;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强;李百玲 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于PVD的表面梯度薄膜制备装置，包括真空腔室、基底、主腔室和源部件，所述基底和主腔室分别布置在所述真空腔室内的上下两侧，所述源部件设置在所述主腔室内；所述源部件包括步进电机、小齿轮、大齿轮、子腔室、用于将基底镀膜的源材料、坩埚、用于遮蔽逸散的部分源的微观粒子的半圆遮板和用于实时测量源的通量的晶振片，所述步进电机的电机轴上固定有所述小齿轮，所述半圆遮板可转动的安装在子腔室的上端开口的一侧上，所述小齿轮与大齿轮啮合，所述大齿轮与所述半圆遮板上的齿形结构啮合。本发明提供了一种基于PVD的表面梯度薄膜制备装置，能够在基底上制备出组分呈连续渐变式梯度分布的多元薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜制备装置 表面梯度 半圆 大齿轮 小齿轮 源部件 基底 遮板 啮合 步进电机 主腔室 子腔室 微观粒子 室内 齿形结构 多元薄膜 基底镀膜 上端开口 上下两侧 实时测量 梯度分布 真空腔室 电机轴 渐变式 晶振片 可转动 源材料 真空腔 遮蔽 通量 逸散 主腔 坩埚 制备 | ||
【主权项】：
1.一种基于PVD的表面梯度薄膜制备装置，其特征在于：包括真空腔室、基底、主腔室和源部件，所述基底和主腔室分别布置在所述真空腔室内的上下两侧，所述源部件设置在所述主腔室内；所述源部件包括步进电机、小齿轮、大齿轮、子腔室、用于将基底镀膜的源材料、坩埚、用于遮蔽逸散的部分源的微观粒子的半圆遮板和用于实时测量源的通量的晶振片，所述步进电机通过支架固定在主腔室的内壁上，所述步进电机的电机轴上固定有所述小齿轮，所述大齿轮通过轴承安装在转轴上，所述转轴固定在支架上，所述坩埚固定在所述子腔室的底部上，所述源材料设置在所述坩埚内，所述半圆遮板的弧端面朝向大齿轮布置且其上设有齿形结构，所述半圆遮板可转动的安装在子腔室的上端开口的一侧上，所述小齿轮与大齿轮啮合，所述大齿轮与所述半圆遮板上的齿形结构啮合，所述半圆遮板在坩埚上方处的底部设有所述晶振片；所述基底位于所述主腔室外且同时位于所述子腔室的上方，所述子腔室的下端安装在所述主腔室的底部上，所述基底的顶部还设有用于基底上的镀膜进行退火晶化的加热装置；所述主腔室上设有可以开合的主盖板。
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- 本发明涉及处理体收纳方法、处理体送出方法、处理体送入方法、处理体送出送入方法、蒸镀方法、电子器件的制造方法、显示面板的制造方法、处理体收纳盒以及处理体收纳装置。在收纳进行处理的多个处理体的处理体收纳方法中，其特征在于，第一处理体收纳盒和第二处理体收纳盒能分别多层式地收纳所述多个处理体，将所述第一处理体收纳盒和第二处理体收纳盒分别上下配置地设置成，所述第一处理体收纳盒在上部而所述第二处理体收纳盒比所述第一处理体收纳盒靠下部，在所述第一处理体收纳盒中收纳所述多个处理体中的所述处理前的所述处理体，在所述第二处理体收纳盒中收纳所述多个处理体中的所述处理后的所述处理体。
- 蒸镀装置和托盘保持件-201510184179.5
- 樋口俊郎;上野博;木村仁 - 纳卢克斯株式会社
- 2015-04-17 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 提供蒸镀装置和托盘保持件，对工件均匀进行蒸镀、并且进一步提高了生产效率。本发明的托盘保持件具有：框架，其具有第1旋转部件(1101)；以及旋转部(1200)，其具有第2旋转部件(1211)，并被安装成能够与所述第2旋转部件一起绕被所述框架支承的轴(1213)旋转。所述旋转部具有绕所述轴配置的多个工件保持用托盘(1251A、1251B、1251C)，所述第2旋转部件构成为，通过所述第1旋转部件与所述旋转部一起旋转。
- 塑料镀膜生产设备及其生产方法-201610942226.2
- 潘振强 - 广东振华科技股份有限公司
- 2016-10-25 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本发明涉及一种塑料镀膜生产设备及生产方法，所述生成设备包括输送底座和工件架，所述输送底座上依次设有底漆涂布固化室、真空镀膜室和面漆涂布固化室，所述工件架用于放置工件，所述工件架设在所述输送底座上，所述工件架在所述输送底座的带动下，依次通过所述底漆涂布固化室、真空镀膜室和面漆涂布固化室；所述生成方法在该生成设备中进行；本发明中的塑料镀膜生产设备，建立了UV底油‑固化——镀膜——UV面漆‑固化多工艺的全自动组合生产线，提供了一种降低生产成本、且多功能化镀膜的生产线；此外，通过工件架在输送底座上移动，可以在喷涂生产线与蒸发镀膜设备之间共用结构简单，使用更为方便，易于操作，节约成本。
- 一种蒸镀方法以及蒸镀系统-201710841989.2
- 石均 - 联想（北京）有限公司
- 2017-09-18 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本发明公开了一种蒸镀方法以及蒸镀系统，该蒸镀方法包括：提供一待蒸镀基板，所述待蒸镀基板具有第一表面，所述第一表面用于蒸镀像素图形，所述像素图形具有多个子像素；在所述待蒸镀基板朝向所述第一表面的一侧设置蒸镀模具，所述蒸镀模具包括相对设置的第一掩膜版以及第二掩膜版，所述第一掩膜版的掩膜图形与所述第二掩膜版的掩膜图形错位相对，以形成与所述子像素匹配的掩膜通孔；基于所述掩膜通孔，对所述待蒸镀基板进行蒸镀，在所述第一表面形成所述子像素。本发明技术方案可以采用具有大开口尺寸的掩膜版制备小尺寸的子像素，降低了掩膜版的加工难度以及蒸镀前掩掩膜版与待蒸镀基板的对位精度，提高了子像素的蒸镀质量。
- 一种镀膜设备沉积腔室和一种镀膜设备-201821808921.0
- 田保峡;闻益;曲士座 - 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
- 2018-11-02 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本实用新型公开一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备，沿第一预设方向，在底板上设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；在底板上设置非金属蒸发源的排数为Q排；位于Q排的首端的P个非金属蒸发源构成第一组非金属蒸发源，位于Q排的末端的M‑P个非金属蒸发源构成第二组非金属蒸发源；第一组非金属蒸发源中各排首端非金属蒸发源中心点的连线与末端非金属蒸发源的中心店的连线平行；第二组非金属蒸发源中至少有一排非金属蒸发源的首端、末端相对于首排非金属蒸发源的首端、末端沿第一预设方向错位预设距离。本方案，可形成的大小合适、厚度均匀且性能良好的CIGS膜，从而使得形成的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
- 一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备-201821809037.9
- 田保峡;闻益;曲士座 - 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
- 2018-11-02 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述底板上设置有N排非金属蒸发源，每排非金属蒸发源包括M个沿第一预设方向设置的非金属蒸发源；在第一预设方向上，所述N排非金属中至少包括一排非金属蒸发源的首端、末端的非金属蒸发源较其他排的首端、末端错位预设距离；其中，M为大于等于8小于等于15的整数，N为大于等于2的整数；每排中的相邻两个非金属蒸发源之间的间距为一定值。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在衬底表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
- 一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备-201821809204.X
- 田保峡;闻益;曲士座 - 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
- 2018-11-02 - 2019-10-29 - C23C14/24
- 本实用新型公开了一种镀膜设备沉积腔室，在所述沉积腔室的底板上设置有金属蒸发源和非金属蒸发源，其中，在所述底板上设置的每排非金属蒸发源的个数为M个；并且，该M个非金属蒸发源分散布置在所述底板的长度方向；M为大于等于8小于等于15的整数；其中，在非金属蒸发源的两侧沿所述底板的长度方向分别设置有一排金属蒸发源，设置在非金属蒸发源一侧的一排金属蒸发源与设置在非金属蒸发源另一侧的金属蒸发源对称设置。本方案，使得通过镀膜设备沉积腔室在玻璃衬底表面形成的CIGS膜厚度均匀，性能良好，从而使得形成的包括CIGS膜的太阳能电池具有较高的发电效率，有效满足用电需求。
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