[发明专利]一种涂层厚度的测量方法及测量系统有效
| 申请号： | 201711285444.4 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN107830810B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 邹林;王颂;李锐海;王希林 | 申请（专利权）人： | 南方电网科学研究院有限责任公司;清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B17/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 510663 广东省广州市萝岗区科*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂层厚度的测量方法及测量系统，涉及涂层厚度测量技术领域，为解决现有的涂层厚度的测量方法适用范围比较狭窄的问题而发明。该涂层厚度的测量方法，包括以下步骤：S1、用第一脉冲激光对第一涂层进行轰击，获取所述第一脉冲激光轰击所述第一涂层时所发出的光声信号的频谱信息；S2、根据所述频谱信息确定所述第一涂层从开始被轰击到被击穿时所述第一脉冲激光的轰击次数；S3、根据与所述第一涂层的材料相同的涂层的厚度与所述第一脉冲激光的轰击次数之间的函数关系确定所述第一涂层的厚度。本发明可用于涂层的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂层 厚度 测量方法 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种涂层厚度的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、用第一脉冲激光对第一涂层进行轰击，获取所述第一脉冲激光轰击所述第一涂层时所发出的光声信号的频谱信息；S2、根据所述频谱信息确定所述第一涂层从开始被轰击到被击穿时所述第一脉冲激光的轰击次数；确定所述第一涂层从开始被轰击到所述频谱信息满足击穿条件时所述第一脉冲激光的轰击次数，所述击穿条件包括：所述光声信号的主频的变化大于或等于第一预设值、所述光声信号的强度的变化大于或等于第二预设值以及所述光声信号的高次谐波的相对强度大小的变化大于或等于第三预设值中的至少两个；S3、根据与所述第一涂层的材料相同的涂层的厚度与所述第一脉冲激光的轰击次数之间的函数关系确定所述第一涂层的厚度。
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