[发明专利]一种延长C向蓝宝石衬底抛光液使用寿命的方法有效
| 申请号： | 201711221272.4 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN107907576B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 杜志伟;王军强 | 申请（专利权）人： | 河北宇天昊远纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 12210 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 付长杰 |
| 地址： | 052160 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种延长C向蓝宝石衬底抛光液使用寿命的方法，该方法的具体过程是：1）在C向蓝宝石进行化学机械抛光过程中，取C向蓝宝石衬底抛光液，用Zeta电位分析仪测量电位，监测C向蓝宝石衬底抛光液的Zeta电位变化情况；2）当监测到C向蓝宝石衬底抛光液的Zeta电位绝对值不大于20mv时，直接向正在使用的C向蓝宝石衬底抛光液中添加非离子表面活性剂，当添加至C向蓝宝石衬底抛光液Zeta电位绝对值不小于30.0mv时停止添加，然后每隔0.5‑1.5小时再次监测Zeta电位，重复上述过程；所述非离子表面活性剂为十二烷基硫酸钠、异构十醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的一种或几种混合物。该方法显著延长了抛光液使用寿命至12小时以上，降低抛光液使用成本达30%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 蓝宝石 衬底 抛光 使用寿命 方法 | ||
【主权项】：
1.一种延长C向蓝宝石衬底抛光液使用寿命的方法，该方法的具体过程是：/n1）在C向蓝宝石进行化学机械抛光过程中，取C向蓝宝石衬底抛光液，用Zeta电位分析仪测量电位，监测C向蓝宝石衬底抛光液的Zeta电位变化情况；/n2）当监测到C向蓝宝石衬底抛光液的Zeta电位绝对值不大于20mv时，直接向正在使用的C向蓝宝石衬底抛光液中添加非离子表面活性剂，当添加至C向蓝宝石衬底抛光液Zeta电位绝对值不小于30.0mv时停止添加，然后每隔0.5-1.5小时再次监测Zeta电位，重复上述过程；所述非离子表面活性剂为十二烷基硫酸钠、异构十醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的一种或几种混合物。/n
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