[发明专利]一种调控金属互连线各向异性收缩率的方法有效
| 申请号： | 201711217161.6 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108147362B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 段智勇;贾斌;李梦珂;马刘红;钟英辉;苏宇锋;郑国恒 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01L21/60 |
| 代理公司： | 41104 郑州联科专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 时立新;张丽 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种调控金属互连线各向异性收缩率的方法，包括如下步骤：把带有金属互连线微结构的硅片放在加热板上进行热处理，同时在硅片上下方分别放置正负电极板以对带有金属互连线微结构的硅片施加单轴驱动力，通过改变所加电极板放置方向来实现金属互连线在不同方向上的收缩；通过调整电极板电压值来控制金属互连线在受力方向上收缩量，进而实现各向异性收缩。把带有金属互连线微纳结构的硅片放在加热板上150℃～200℃进行热处理，同时在硅片上下方分别放置正负电极板，来对金属互连线施加静电场，通过静电场作用产生的电场力来实现对金属互连线单轴驱动力的施加。 | ||
| 搜索关键词： | 金属互连线 硅片 正负电极板 热处理 加热板 驱动力 收缩率 微结构 施加 单轴 收缩 电极板电压 静电场作用 加电极板 微纳结构 电场力 静电场 收缩量 调控 受力 | ||
【主权项】：
1.一种调控金属互连线各向异性收缩率的方法，其特征在于，包括如下步骤：把带有金属互连线微结构的硅片放在加热板上进行热处理，同时在硅片上下方分别放置正负电极板以对带有金属互连线微结构的硅片施加单轴驱动力，通过改变所加电极板放置方向来实现金属互连线在不同方向上的收缩；通过调整电极板电压值来控制金属互连线在受力方向上收缩量，进而实现微纳互连线的各向异性收缩以满足微加工技术对特征线宽的需求。/n
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