[发明专利]加工设备有效
| 申请号： | 201711164011.3 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108089413B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·瓦尔;卡斯滕·康泰克;约克·保姆巴赫 | 申请（专利权）人： | 曼兹股份公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京博华智恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11431 | 代理人： | 樊卫民;谭彦闻 |
| 地址： | 德国罗伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了改进一种用于具有两个相互对置设置的板侧面的板状体、特别是待曝光的板状的基板主体的加工设备，从而例如使得可以精确识别板状体的定向并且特别是能尽可能相互精确地将两个板侧面所配备的结构定向，为此提出，加工设备包括具有两个子压印机构的压印系统，所述两个子压印机构设置在几何压印基准面两侧，所述子压印机构中的每一个都分别包括至少一个朝向几何压印基准面的压印冲头，并且加工设备具有用于板状体的引导部，该引导部使所述板状体基本上在压印基准面中定向。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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