[发明专利]一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用装置

摘要

本发明公开了一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用装置，包括筛分清洗模块、滤液循环回收处理模块和PLC控制模块。其中筛分清洗模块主要包括筛分清洗罐、筛网Ⅰ、超声波清洗器、盛装乙醇和盐酸容器，用于对研磨废液中符合粒径要求的碳化硼的筛分和水洗；滤液循环回收处理模块主要包括滤液回收处理装置、滤液蒸发装置，用于滤液的循环利用和滤液中乙醇的蒸发回收；PLC控制模块包括PLC控制器和相关连接线，用于控制整个装置中相关阀门以及泵按照既定顺序和时间工作，实现装置的自动控制。该装置具有分离效果好，筛分效率高，操作方便以及自动化程度高等优点。

主权项

一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用装置，其特征在于:包括所述筛分清洗模块、滤液循环回收处理模块和PLC控制模块；所述筛分清洗模块主要包括筛分清洗罐5、筛网Ⅰ(8)、超声波清洗器(11)、盛装乙醇和盐酸容器(21)；所述滤液循环回收处理模块主要包括滤液回收处理装置(18)、滤液蒸发装置(20)，还包括若干抽取泵、若干阀门和若干连接管道；所有的抽取泵、阀门、以及超声波清洗器(11)均通过PLC控制装置(22)来控制。所述筛分清洗罐(5)的上端具有研磨废液进口(1)、上进水口(3)、乙醇和盐酸进口；连接所述研磨废液进口(1)的管道带有废液抽取泵(2)；连接所述上进水口(3)带有进水泵(4)；连接所述乙醇和盐酸进口的管道带有乙醇和盐酸抽取泵(6)，这条管道通过三通连接两条分支管道，这两条分支管道分别带有滤液回收进口阀门(16)、乙醇和盐酸进口阀门(17)，且这两条分支管道分别连接滤液回收处理装置(18)和容器(21)；所述容器(21)用于盛装乙醇和盐酸；所述筛分清洗罐(5)内部具有筛网Ⅰ(8)；所述筛网Ⅰ(8)将筛分清洗罐(5)的内部空间分隔为上下部分；所述筛网Ⅰ(8)可被吊出筛分清洗罐(5)；所述筛分清洗罐(5)底部安装超声波清洗器(11)；所述超声波清洗器(11)的容器部分是漏斗形的腔体；所述超声波清洗器(11)的上端是漏斗进口，这个进口与筛分清洗罐(5)的底部对接，即与筛分清洗罐(5)共同组成一个容器；所述超声波清洗器(11)的底部为漏斗的出口；该出口通过三通分别连接下出水口(12)和滤液回收处理装置(18)的进水口，该三通的两条支管道分别带有下出水阀门(13)和滤液出口阀门(14)；所述滤液回收处理装置(18)的底部为坡面；滤液回收处理装置(18)的进水口靠近坡面的高处、出水口靠近坡面的低处；通过筛网Ⅱ(15)将滤液回收处理装置(18)分隔为两部分；滤液回收进口阀门(16)所对应的管道用于抽取经过筛网Ⅱ(15)过滤的液体；所述滤液回收处理装置(18)的出水口通过管道连接滤液蒸发装置(20)，这条管道带有滤液蒸发进口阀门(19)；所述滤液蒸发装置(20)的蒸汽出口通过管道连接容器(21)；乙醇和盐酸进口阀门(17)所对应的管道用于抽取容器(21)中的乙醇和盐酸。