[发明专利]高功率激光击穿金属孔洞形状和面积实时测量装置及方法有效
| 申请号： | 201711059812.3 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN107860334B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 吴涛涛;韦成华;周孟莲;吕玉伟;王立君 | 申请（专利权）人： | 西北核技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/28 |
| 代理公司： | 61211 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 汪海艳<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 710024 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高功率激光击穿金属孔洞形状和面积实时测量装置及方法，测量装置包括探针激光器、光束匀化器、介质膜全反镜、滤光片、分束片、积分球和摄像机。利用均匀的低功率可见激光束对金属的烧蚀孔洞进行投影，再通过积分球和摄像机测量穿过孔洞的投影光斑，达到孔洞形状和面积实时测量的目的，具有精度高，耗时少，方便快捷、安全可靠的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 激光 击穿 金属 孔洞 形状 面积 实时 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高功率激光击穿金属孔洞形状和面积实时测量装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的探针激光器(1)、光束匀化器(2)、第一介质膜全反镜(51)、第二介质膜全反镜(52)及分束镜(9)，还包括一个积分球(10)和一个摄像机(13)，分别位于分束镜(9)两个分光光路中；/n金属薄板(6)位于第一介质膜全反镜(51)与第二介质膜全反镜(52)之间；高功率激光束(4)经过第一介质膜全反镜(51)的反射穿过金属薄板(6)，在金属薄板(6)形成烧蚀孔洞(7)后再经过第二介质膜全反镜(52)反射出光路；/n所述探针激光器(1)发射探针激光束(3)进入光束匀化器(2)，匀化后的探针激光束(3)依次穿过第一介质膜全反镜(51)、金属薄板(6)上的烧蚀孔洞(7)、第二介质膜全反镜(52)后经分束镜(9)分束后分别进入积分球(10)和摄像机(13)；/n所述积分球(10)收集透过分束镜(9)的全部光束，所述摄像机(13)拍摄分束镜(9)的反射光；/n或，所述积分球(10)收集反射出分束镜(9)的全部光束，所述摄像机(13)拍摄分束镜(9)的透射光。/n
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