[发明专利]利用窄间距电容耦合电极的亚大气压力等离子体增强ALD方法

摘要

一种利用等离子体增强亚大气压力原子层沉积(亚大气压力PEALD)来沉积膜的方法，所述方法使用间距为1mm～5mm的电容耦合平行板电极来进行，其中，亚大气压力PEALD的一个循环包括：以脉冲方式向反应腔室供给前体；向反应腔室持续供给反应物；向反应腔室持续供给惰性气体；将反应腔室的压力持续控制在15kPa～80kPa的范围内；以及以脉冲方式向平行板电极中的一个施加用于辉光放电的RF功率。

主权项

1.一种利用等离子体增强亚大气压力原子层沉积来沉积膜的方法，所述方法包括：将基材置于可排空反应腔室中的电容耦合平行板电极之间，其中，所述平行板电极之间的距离在1mm～5mm的范围内；以及利用等离子体增强原子层沉积(PEALD)在所述基材上沉积具有所需厚度的膜，其中的每一个循环包括：(i)以脉冲方式向所述反应腔室供给前体；(ii)向所述反应腔室持续供给反应物；(iii)向所述反应腔室持续供给惰性气体；(iv)将所述反应腔室的压力持续控制在15kPa～80kPa的范围内；以及(v)以脉冲方式向所述平行板电极中的一个施加用于辉光放电的RF功率，其中，供给所述前体的脉冲与施加RF功率的脉冲不重叠。