[发明专利]研磨垫修整方法、化学机械研磨方法及装置在审
| 申请号： | 201711015530.3 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109702650A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡长益 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B1/00;B24B37/10;B24B37/005;B24B37/20 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 张臻贤;戴国琛 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫修整方法、化学机械研磨方法及装置，研磨垫修整方法包括：在预设时间内，接收粗糙度侦测装置发送的研磨垫表面粗糙度数据；其中，所述表面粗糙度数据是所述粗糙度侦测装置通过测量研磨垫表面获得的；根据所述表面粗糙度数据进行计算转换，获得用于对所述研磨垫进行修整的整平参数；其中所述整平参数包括修整压力、修整时间和转速；将基于所述整平参数的控制指令发送至修整器，以使所述修整器根据所述控制指令对所述研磨垫进行实时动态调整的修整。本发明采用上述技术方案，具有如下优点：本发明可以实时获取研磨垫表面的粗糙度数据，并根据粗糙度数据来实时修整研磨垫表面，使研磨垫表面粗糙度满足研磨要求，以提高研磨性能。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 修整 表面粗糙度 粗糙度 整平 化学机械研磨 侦测装置 修整器 控制指令发送 实时动态调整 控制指令 实时获取 研磨性能 研磨 预设 测量 发送 转换 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫修整方法，其特征在于，包括：步骤1：接收粗糙度侦测装置发送的研磨垫表面粗糙度数据，其中，所述表面粗糙度数据是所述粗糙度侦测装置通过测量研磨垫表面获得的；步骤2：根据所述表面粗糙度数据进行计算转换，获得用于对所述研磨垫进行修整的整平参数，其中所述整平参数包括修整压力、修整时间和转速；步驟3：将基于所述整平参数的控制指令发送至修整器，以使所述修整器根据所述控制指令对所述研磨垫进行实时动态调整的修整；其中，所述步骤1至所述步骤3皆实施在化学机械研磨制程中。
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