[实用新型]一种基板研磨装置有效
| 申请号： | 201720648854.X | 申请日： | 2017-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN207309643U | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 李根雨;朴成贤 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B21/10 | 分类号： | B24B21/10;B24B21/18;B24B41/06;B24B57/02;B24B53/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华,李欣 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种基板研磨装置，在利用带型研磨垫的基板研磨装置中，配备垫整修器，来提供研磨液并整修研磨垫。该基板研磨装置包括一对驱动滚轴；研磨垫，被围在所述驱动滚轴进行旋转；基板载体，安装有基板；以及垫整修器；配置在所述研磨垫的上部，在进行所述基板的研磨时，向所述研磨垫提供研磨液，且在进行所述研磨垫的整修时，整修所述研磨垫。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种基板研磨装置，其特征在于，包括：一对驱动滚轴；研磨垫，被围在所述驱动滚轴进行旋转；基板载体，安装有基板；和垫整修器；配置在所述研磨垫的上部，在进行所述基板的研磨时，向所述研磨垫提供研磨液，且在进行所述研磨垫的整修时，整修所述研磨垫。
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