[发明专利]化学机械研磨修整器在审
| 申请号： | 201711011815.X | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109702651A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 宋健民 | 申请（专利权）人： | 河南烯碳合成材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双;李岩 |
| 地址： | 461500 河南省长*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种化学机械研磨修整器，包含有一基座、多个粘性接合件以及多个研磨单元，该基座具有多个凹槽，该些粘性接合件各包含有一设置于该些凹槽内的海绵以及一渗入该海绵的热固性粘胶，该些研磨单元分别对应设置于该些凹槽，且各具有多个研磨颗粒，该些研磨颗粒突出该凹槽，并形成一研磨端，该研磨端距离该基座的高度介于5微米至100微米之间，且该些研磨颗粒中最高突出尖端与第二高突出尖端的突出差距小于等于50微米，该些研磨颗粒中前1％高的突出尖端的突出差距小于等于80微米。藉此，可以提升整体修整效率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨颗粒 突出尖端 化学机械研磨 研磨单元 粘性接合 修整器 研磨端 海绵 热固性粘胶 渗入 修整 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨修整器，其特征在于，包含有：一基座，该基座具有多个凹槽；多个粘性接合件，该些粘性接合件各包含有一设置于该些凹槽内的海棉以及一渗入该海棉的热固性粘胶；以及多个分别对应设置于该些凹槽的研磨单元，该些研磨单元各具有一基底以及多个设置于该基底的研磨颗粒，该些基底各具一有与该些粘性接合件粘合的底面以及一远离该底面的顶面，该些研磨颗粒设置于该顶面并突出该凹槽，且形成一远离该底面的研磨端，该研磨端距离该基座的高度介于5微米至100微米之间，且该些研磨颗粒中最高突出尖端与第二高突出尖端的突出差距小于等于50微米，该些研磨颗粒中前1％高的突出尖端的突出差距小于等于80微米。
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