[发明专利]表面波等离子体设备有效
| 申请号： | 201711001078.5 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109698107B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 赵晓丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面波等离子体设备，包括矩形波导、同轴转换单元、谐振腔和反应腔室，矩形波导通过同轴转换单元向谐振腔传输微波能量。该同轴转换单元包括第一渐变结构、同轴结构和第二渐变结构，其中，第一渐变结构设置在矩形波导与同轴结构之间；第二渐变结构设置在同轴结构与谐振腔之间；并且，第一渐变结构、同轴结构和第二渐变结构同轴设置。本发明提供的表面波等离子体加工设备，其可以更容易地实现阻抗匹配，同时减少微波能量损耗，提高耦合效率。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
1.一种表面波等离子体设备，包括矩形波导、同轴转换单元、谐振腔和反应腔室，所述矩形波导通过所述同轴转换单元向所述谐振腔传输微波能量，其特征在于，所述同轴转换单元包括第一渐变结构、同轴结构和第二渐变结构，其中，所述第一渐变结构设置在所述矩形波导与所述同轴结构之间；所述第二渐变结构设置在所述同轴结构与所述谐振腔之间；并且，所述第一渐变结构、所述同轴结构和所述第二渐变结构同轴设置。
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