[发明专利]一种柔性介电薄膜及由其制备的有机场效应晶体管有效
| 申请号： | 201710919389.3 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107611262B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 郑庆东;尹志刚;柳子杨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | H01L51/05 | 分类号： | H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 张莹 |
| 地址： | 350002 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种介电材料和介电薄膜，和由所述介电薄膜构筑的柔性有机场效应晶体管(OFET)及制备方法，及其在电子设备领域的应用。本发明的介电材料和介电薄膜含有聚甲基丙烯酸甲酯和聚丙烯酸，该介电薄膜的厚度为1～2μm。本发明的柔性OFET的制备方法为将介电薄膜加工在覆盖有栅极的基底上，之后溶液旋涂有机半导体层，最后蒸镀源漏电极。本发明的介电薄膜漏电小、介电常数可调、厚度可控、强度/柔性高；介电薄膜及柔性OFET的电学性能好，在低能耗柔性电子器件方面具有良好的应用前景；介电薄膜及柔性OFET的制备方法成本低、工艺简便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 制备 有机 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
一种介电材料，其特征在于，所述介电材料含有聚甲基丙烯酸甲酯和聚丙烯酸。
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