[发明专利]MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置及MEMS装置的制造方法有效
| 申请号： | 201710883005.7 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN107878028B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 吉池政史 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;张放 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种能够对被层叠在树脂部上的配线中的电连接的可靠性的下降进行抑制的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、以及MEMS装置的制造方法，所述MEMS装置具备基板，所述基板具有从一个面突出的由树脂形成的树脂部以及覆盖树脂部的表面的至少一部分的第一配线，第一配线沿着所述一个面上的第一方向而从与树脂部重叠的位置起延伸设置至偏离于树脂部的位置处，在与第一方向交叉的第二方向上，树脂部的宽度为覆盖该树脂部的第一配线的宽度以上。 | ||
| 搜索关键词： | mems 装置 液体 喷射 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置，其特征在于，具备基板，所述基板具有从一个面突出的由树脂形成的树脂部、以及覆盖所述树脂部的表面的至少一部分的第一配线，所述第一配线沿着所述一个面上的第一方向而从与所述树脂部重叠的位置起延伸设置至偏离于所述树脂部的位置处，在与所述第一方向交叉的第二方向上，所述树脂部的宽度为覆盖该树脂部的第一配线的宽度以上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710883005.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种真空泵安装支架总成
- 下一篇：一种应用于汽车的电子真空泵安装支架
