[发明专利]机器人手臂和搬送机器人

摘要

提供机器人手臂和搬送机器人，使加工屑不会附着。板状的机器人手臂(2)具有第一保持单元(21)，其沿着一个面(211a)使空气流动而对晶片进行非接触吸附保持；和第二保持单元(22)，其在另一个面(221a)上对晶片进行吸引保持，保持单元(21)具有：第一板部件(211)；槽(213)，其形成于一个面，其一端向板部件的外周开口；喷出口(214)，其从槽的另一端朝向一端喷出空气；和提供路(215)，其形成于保持单元内部，将喷出口和安装部(12)所具有的第一连接口(216)连通，保持单元(22)具有：第二板部件(221)；吸引口(224)，其将另一个面和吸引源(61)连通；以及吸引路(223)，其形成于保持单元内部，将吸引口(224)和安装于机器人(1)的安装部(12)所具有的第二连接口(226)连通。

主权项

一种机器人手臂，其是板状的机器人手臂，其具有对晶片进行吸附保持的一个面以及安装于机器人的安装部，其中，该机器人手臂具有保持单元，该保持单元使该一个面与空气提供源连通，使空气喷出并沿该一个面的方向使空气流动而产生负压，从而对晶片进行吸附保持，该保持单元具有：槽，其一端在一个面上在外周缘开口；空气喷出口，其从该槽的另一端朝向该一端喷出空气；以及空气提供路，其形成于该保持单元的内部，使该空气喷出口与该安装部所具有的连接口连通，使从该空气喷出口喷出的空气在该槽中流通而在该一个面上产生负压，从而对晶片进行吸附保持，该机器人手臂能够从呈搁板状收纳有晶片的盒中取出晶片以及将晶片收纳于盒中。