[发明专利]机器人手臂和搬送机器人

权利要求书

1.一种机器人手臂，其是板状的机器人手臂，其具有对晶片进行吸附保持的一个面、对晶片进行吸引保持的另一个面、以及安装于机器人的安装部，其中，

该机器人手臂具有：

第一保持单元，其使该一个面与空气提供源连通，使空气喷出并沿该一个面的方向使空气流动而产生负压，从而对晶片进行吸附保持；以及

第二保持单元，其使另一个面与吸引源连通而对晶片进行吸引保持，

该第一保持单元具有：

板状的第一板部件；

槽，其形成为一端在该一个面上向该第一板部件的外周侧开口；

空气喷出口，其从该槽的另一端朝向该一端喷出空气；以及

空气提供路，其形成于该第一保持单元的内部，使该空气喷出口和该安装部所具有的第一连接口连通，

该第二保持单元具有：

板状的第二板部件；

吸引口，其使该另一个面与吸引源连通；以及

吸引路，其形成于该第二保持单元的内部，使该吸引口和该安装部所具有的第二连接口连通。

2.一种搬送机器人，其对晶片进行搬送，具有供权利要求1所述的机器人手臂的所述安装部安装的支架，其中，

该搬送机器人具有：

连通路，其经由与该连通路的一端连接的阀而选择性地与所述吸引源和所述空气提供源连通；以及

连结单元，其与该连通路的另一端连接，将该连通路的连通目的地与安装于该支架的该机器人手臂的所述第一连接口和所述第二连接口连结，

该连结单元具有：

分支部，其将该连通路分支成两个；

第一配管，其将该分支部和该第一连接口连接；

第一止回阀，其配设于该第一配管，将从该第一连接口朝向该分支部的方向的空气的流动隔断；

第二配管，其将该分支部和该第二连接口连接；

节流阀，其配设于该第二配管；以及

第二止回阀，其与该节流阀并联地配设于该第二配管，将从该分支部朝向该第二连接口的方向的空气的流动隔断。