[发明专利]机器人手臂和搬送机器人

说明书

提供机器人手臂和搬送机器人，使加工屑不会附着。板状的机器人手臂(2)具有第一保持单元(21)，其沿着一个面(211a)使空气流动而对晶片进行非接触吸附保持；和第二保持单元(22)，其在另一个面(221a)上对晶片进行吸引保持，保持单元(21)具有：第一板部件(211)；槽(213)，其形成于一个面，其一端向板部件的外周开口；喷出口(214)，其从槽的另一端朝向一端喷出空气；和提供路(215)，其形成于保持单元内部，将喷出口和安装部(12)所具有的第一连接口(216)连通，保持单元(22)具有：第二板部件(221)；吸引口(224)，其将另一个面和吸引源(61)连通；以及吸引路(223)，其形成于保持单元内部，将吸引口(224)和安装于机器人(1)的安装部(12)所具有的第二连接口(226)连通。

技术领域

本发明涉及在加工装置等上对晶片进行保持的机器人手臂以及利用机器人手臂对晶片进行保持而搬送晶片的搬送机器人。

背景技术

在对半导体晶片等进行加工的切削装置或磨削装置等加工装置中，例如从载置于盒载台的盒的内部取出板状工件并搬送至保持工作台，或者在板状工件的加工结束之后，将加工后的板状工件收纳于盒中。并且，在加工装置中配设有将晶片从盒中取出、或者将晶片收纳于盒中的搬送机器人，该搬送机器人具有机器人手臂，该机器人手臂在一个面上具有对晶片进行吸附保持的保持面(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2013-198960号公报

上述专利文献1中记载的机器人手臂在其保持面上形成有吸引口，且在内部形成有使保持面与由真空产生装置等构成的吸引源连通的连通路。并且，在使保持面与晶片接触的状态下，吸引源进行吸引而产生的吸引力传递至保持面上的吸引口，从而机器人手臂能够对晶片进行吸引保持。

这里，当在晶片上存在翘曲、或者正面变得凸凹时，无法进行吸引保持。因此，有时从机器人手臂的保持面喷出空气而产生伯努利效应来进行吸附保持。但是，这样的机器人手臂需要喷出大量的空气，为了增大机器人手臂内使空气流通的流通路，厚度会变厚，因此有时机器人手臂无法进入盒内。另外，例如在日本特许第4299111号的发明中，保持部进入盒内，但由于机器人手臂的厚度较厚，当晶片的厚度变厚时，不可能进入盒内。

另外，在配设有搬送机器人的加工装置例如是磨削装置的情况下，有时在作为搬送对象的加工后的晶片上附着有磨削加工所产生的磨削屑，当使机器人手臂与晶片的被磨削面接触而对晶片进行吸引保持时，有时在机器人手臂的保持面上会附着磨削屑。并且，磨削屑附着在保持面上的状态的机器人手臂对加工前的新的晶片进行吸引保持，从而有时会在加工前的晶片上附着磨削屑。

因此，对于在设置于加工装置的搬送机器人所具有的、对作为搬送对象的晶片进行保持的机器人手臂而言，存在下述课题：使其能够进入盒内而进行晶片的取出放入，不会因磨削屑等加工屑附着在保持面上而污染保持面，且按照不使加工屑附着在新实施加工的晶片上的方式进行搬送。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种机器人手臂和搬送机器人，确保加工屑不会附着于新实施加工的晶片。

用于解决上述课题的本发明是机器人手臂，其是板状的机器人手臂，其具有：对晶片进行吸附保持的一个面；以及安装于机器人的安装部，其中，该机器人手臂具有保持单元，该保持单元使该一个面与空气提供源连通，使空气喷出并沿该一个面的方向使空气流动而产生负压，从而对晶片进行吸附保持，该保持单元具有：槽，其一端在一个面上在外周缘开口；空气喷出口，其从该槽的另一端朝向该一端喷出空气；以及空气提供路，其形成于该保持单元的内部，使该空气喷出口与该安装部所具有的连接口连通，使从该空气喷出口喷出的空气在该槽中流通而在该一个面上产生负压，从而对晶片进行吸附保持，该机器人手臂能够从呈搁板状收纳有晶片的盒中取出晶片以及将晶片收纳于盒中。