[发明专利]一种太阳能电池薄膜的制备设备及其制备方法

摘要

本发明涉及一种太阳能电池薄膜的制备设备，包括蒸镀舱，在蒸镀舱的内底面设置至少一个蒸发源容器及其容器挡板，在蒸发源容器内放置有用于制备太阳能电池薄膜的蒸发物，在蒸发源容器上设置有加热蒸发装置使得其内的蒸发物被加热蒸发；在蒸镀舱的内顶面设置上加热台和样品挡板，上加热台给基片样品加热，样品挡板设置在基片样品的下部；在蒸镀舱上还设置有真空抽气管道以及用于测试蒸发物蒸发量的蒸发速率传感器，蒸发速率传感器设置在蒸发源容器的上方且位于样品挡板与容器挡板之间。本发明还涉及一种太阳能电池薄膜的制备方法以及太阳能电池的制备方法。本发明制备出的混合型钙钛矿薄膜材料结晶质量良好、致密均匀，适合大规模产业化的生产。

主权项

1.一种太阳能电池薄膜的制备设备，包括中空且密封的蒸镀舱，其特征在于，在所述蒸镀舱的内底面设置至少一个蒸发源容器及其容器挡板，在所述蒸发源容器内放置有用于制备太阳能电池薄膜的蒸发物，所述容器挡板设置在蒸发源容器的顶部并通过控制装置自动打开或关闭蒸发源容器，在所述蒸发源容器上设置有加热蒸发装置使得其内的蒸发物被加热蒸发，所述加热蒸发装置被控制装置所控制；在所述蒸镀舱的内顶面设置上加热台和样品挡板，在所述上加热台上设置了用于固定基片样品的样品夹，所述上加热台给基片样品加热，所述样品挡板设置在基片样品的下部，通过控制装置自动遮挡或显露基片样品；在所述蒸镀舱上还设置有真空抽气管道以及用于测试蒸发物蒸发量的蒸发速率传感器，所述蒸发速率传感器设置在蒸发源容器的上方且位于样品挡板与容器挡板之间。