[发明专利]一种涂光刻胶系统及其胶黏度的在线测量方法

摘要

本发明涉及半导体制作工艺技术领域，尤其涉及一种涂光刻胶系统及其胶黏度的在线测量方法。涂光刻胶系统包括由胶管顺序连接的涂胶罐、排气罐、过滤器以及涂胶头，在所述的涂胶罐和排气罐之间的胶管上设置有三向开关控制阀，所述的三向开关控制阀两端通过胶管分别连接涂胶罐和排气罐，三向开关控制阀的第三端连接有在线黏度测试仪。三向开关控制阀导通涂胶罐和排气罐之间的光刻胶，打开通向光刻胶黏度测试仪的开关，在线测量胶黏度。涂光刻胶系统还设有流量计，所述的流量计与三向开关控制阀电连接。该涂光刻胶系统的胶黏度的在线测量方法尤其适用于工业化大批量半导体工艺的生产，其在线测量方法简单，可行性好。

主权项

一种涂光刻胶系统，包括由胶管顺序连接的涂胶罐（1）、排气罐（2）、过滤器（3）以及涂胶头（4），其特征在于：在所述的涂胶罐（1）和排气罐（2）之间的胶管上设置有三向开关控制阀（5），所述的三向开关控制阀两端通过胶管分别连接涂胶罐（1）和排气罐（2），三向开关控制阀的第三端连接有在线黏度测试仪（6）。