[发明专利]一种二维MEMS微镜驱动控制系统和方法有效
| 申请号： | 201710796233.0 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107450178B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李志峰;张力;李建华;牛振红;束逸;孟刚;水涌涛;刘佳琪;刘鑫;刘洪艳;高路;赵巨岩;杜润乐;薛莲;薛峰;赵茜;蔡雯琳;方艺忠;尹含;张鹏;汪大鹏 | 申请（专利权）人： | 北京航天长征飞行器研究所;中国运载火箭技术研究院 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维MEMS微镜驱动控制系统和方法，其中，所述系统包括：数字控制器、第一DAC、微镜偏转驱动回路和MEMS微镜芯片；MEMS微镜芯片，包括：MEMS微镜；数字控制器，用于从接收到的外部指令中提取得到偏转角度指令，对偏转角度指令进行解码，得到MEMS微镜驱动数字波形；第一DAC，用于将MEMS微镜驱动数字波形转换为MEMS微镜驱动模拟波形；微镜偏转驱动回路，用于将MEMS微镜驱动模拟波形，转换为MEMS微镜驱动电流；MEMS微镜，用于在MEMS微镜驱动电流的驱动作用下进行偏转。通过本发明提高了磁驱动模式MEMS微镜的指向控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 mems 驱动 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
一种二维MEMS微镜驱动控制系统，其特征在于，包括：数字控制器、第一DAC、微镜偏转驱动回路和MEMS微镜芯片；其中，所述MEMS微镜芯片，包括：MEMS微镜；数字控制器，用于从接收到的外部指令中提取得到偏转角度指令，对所述偏转角度指令进行解码，得到MEMS微镜驱动数字波形；第一DAC，用于将所述MEMS微镜驱动数字波形转换为MEMS微镜驱动模拟波形；微镜偏转驱动回路，用于将所述MEMS微镜驱动模拟波形，转换为MEMS微镜驱动电流；MEMS微镜，用于在所述MEMS微镜驱动电流的驱动作用下进行偏转。
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