[发明专利]一种机械手有效
| 申请号： | 201710735425.0 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107564845B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 关立伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 11247 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘敏;吴鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种机械手，包括：机械手臂，所述机械手臂包括用于承载基板的承载部，所述承载部位于该机械手臂的一端并沿该机械手臂的纵向延伸；设置在该机械手臂上的多个基板夹持模块，所述基板夹持模块包括线性引导机构、基板夹持件以及驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述基板夹持件沿所述线性引导机构在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述基板夹持件夹紧所述基板，在所述第二位置所述基板夹持件松开该基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 | ||
【主权项】：
1.一种在真空环境下防止基板在其上滑动的机械手，包括：/n机械手臂，所述机械手臂包括用于承载基板的承载部，所述承载部位于该机械手臂的一端并沿该机械手臂的纵向延伸；/n设置在该机械手臂上的多个基板夹持模块，所述基板夹持模块包括线性引导机构、基板夹持件以及驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述基板夹持件沿所述线性引导机构在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述基板夹持件夹紧所述基板，在所述第二位置所述基板夹持件松开该基板；/n所述承载部由所述机械手臂的一部分构成，所述线性引导机构包括从所述承载部的横向两侧相反地延伸出的多个线性导轨，每个线性导轨的远离所述承载部的一端设有所述基板夹持件，所述驱动装置包括设置在所述线性导轨上的电磁模块，并且所述电磁模块位于相应的基板夹持件的远离所述承载部的一侧并通过弹簧与该基板夹持件连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710735425.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
