[发明专利]曝光装置、曝光方法以及物品制造方法有效
| 申请号： | 201710728228.6 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN107783383B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 大野文靖 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供在确保装置的尺寸以及宽广的曝光区域这点上有利的曝光装置。一种曝光装置，具有以圆弧状的光对物体(1)进行照明的照明光学系统IL、以及将以圆弧状的光照明而得到的物体(1)的像投影到基板(3)的投影光学系统PO，上述曝光装置一边在规定方向上改变物体(1)与基板(3)的相对位置一边对基板(3)进行曝光，上述曝光装置的特征在于，照明光学系统IL包括狭缝(5)，该狭缝(5)设置有圆弧状的开口部，该圆弧状的开口部将光源的光整形成圆弧状的光，上述曝光装置具备：变更部，变更开口部的圆弧的曲率；以及控制部C，控制变更部，以使得根据表示投影光学系统PO的NA的信息来变更曲率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 方法 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，具有：照明光学系统，以圆弧状的光对物体进行照明；以及投影光学系统，将以所述圆弧状的光照明而得到的所述物体的像投影到基板，所述曝光装置一边在规定方向上改变所述物体与所述基板的相对位置，一边对所述基板进行曝光，所述曝光装置的特征在于，所述照明光学系统包括狭缝，该狭缝设置有圆弧状的开口部，该圆弧状的开口部将光源的光整形成所述圆弧状的光，所述曝光装置具备：变更部，变更所述开口部的圆弧的曲率；以及控制部，控制所述变更部，以使得根据表示所述投影光学系统的NA的信息来变更所述曲率。
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