[发明专利]柔性透明氧化物双栅薄膜晶体管的制备方法有效
| 申请号： | 201710684293.3 | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN107359206B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 东台市超品光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/02;C23C28/04 |
| 代理公司： | 重庆创新专利商标代理有限公司 50125 | 代理人： | 付继德 |
| 地址： | 224200 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了公开了一种柔性透明氧化物双柵薄膜晶体管的制备方法。尤其是在可弯曲拉伸的柔性基体上用TCO旋转靶材和金属平面靶材磁控溅射通过控制氧含量制作半导体TCO氧化物沟道和金属性能的TCO作为源和漏电极及金属柵电极，实现柔性透明的TFTs。开/关电流比：1.5‑3.6X 10 |
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| 搜索关键词： | 柔性 透明 氧化物 薄膜晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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