[发明专利]液处理装置和液处理方法

摘要

本发明提供一种液处理装置和液处理方法。提供一种在向绕铅垂轴线旋转的晶圆供给清洗液而进行处理的液处理装置中抑制雾向晶圆的再次附着的技术。液处理装置设置有：引导构件(3)，其从水平地保持着的晶圆(W)的背面的周缘部朝向外侧下方形成有倾斜面(32)；包围构件(2)，其形成为包围晶圆(W)的圆筒状，其上缘部朝向内周侧向斜上方伸出，在其内表面侧的比水平地保持着的晶圆(W)的表面高度靠上方的位置在整周上形成有两根槽部(23)。若气流沿着包围构件(2)流动，则气流在槽部(23)中形成涡流，滞留在槽部(23)内，因此，能够捕捉雾，能够抑制雾向杯体(1)的外部流出。因而，能够抑制雾向晶圆(W)的附着。

主权项

一种液处理装置，其是从喷嘴向基板供给处理液来进行处理的液处理装置，其特征在于，该液处理装置具备：基板保持部，其用于水平地保持基板而使基板绕铅垂轴线旋转；包围构件，其以包围所述基板保持部上的基板的方式设置，其上部侧朝向内方侧向斜上方伸出；引导构件，其以沿着所述基板保持部的周向包围该基板保持部的下方侧区域的方式设置，形成有从接近被所述基板保持部保持着的基板的背面的周缘部并与该周缘部相对的位置朝向外侧下方的倾斜面；以及排气机构，其用于借助所述包围构件与所述引导构件之间的间隙对基板的周围的气氛气体进行排气，在所述包围构件的内周面中的比与被所述基板保持部保持着的基板的上表面的高度相对应的部位靠上方侧的位置，在整周上形成有沿着周向延伸的槽部。