[发明专利]接合装置和接合系统

摘要

本发明提供一种抑制接合后的基板的应变的接合装置和接合系统。本实施方式所涉及的接合装置具备第一保持部、第二保持部以及撞击器。第一保持部从上方吸附保持第一基板。第二保持部配置在第一保持部的下方，从下方吸附保持第二基板。撞击器从上方按压第一基板的中心部，来使第一基板的中心部与第二基板接触。另外，第一保持部吸附保持第一基板的外周部的一部分区域，且吸附保持同从第一基板的中心部朝向外周部的方向中的、第一基板与第二基板之间的接合区域的扩大最快的方向相交的区域。

主权项

一种接合装置，其特征在于，具备：第一保持部，其从上方吸附保持第一基板；第二保持部，其配置在所述第一保持部的下方，从下方吸附保持第二基板；以及撞击器，其从上方按压所述第一基板的中心部，来使所述第一基板的中心部与第二基板接触，其中，所述第一保持部吸附保持所述第一基板的外周部的一部分区域，且吸附保持同从所述第一基板的中心部朝向外周部的方向中的、至少所述第一基板与所述第二基板之间的接合区域的扩大最快的方向相交的所述区域。