[发明专利]一种金属光栅的制作方法、金属光栅及显示装置

摘要

本发明公开了一种金属光栅的制作方法、金属光栅及显示装置，利用胶膜层形成多条相互平行的框条后，在框条之上和框条的间隙处形成连续分布且厚度均匀的金属薄膜，利用沉积在框条侧壁上的金属薄膜形成线宽等于金属薄膜厚度的金属条，避免对金属薄膜进行纳米级高分辨刻蚀，可以降低刻蚀难度，提高制作良率；在金属薄膜的缝隙处形成填充条后，去除金属条两端连接的金属薄膜部分，形成金属光栅。采用上述制作方法形成的金属光栅包括：基底层，设置于基底层上的多条相互平行的金属条，以及在相邻金属条之间缝隙处间隔设置的框条和填充条；其中，金属条的线宽仅与金属薄膜的沉积厚度相关，可做到几十纳米甚至几纳米量级，有利于实现高分辨率的金属光栅。

主权项

1.一种金属光栅的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上依次形成剥离层和胶膜层；对所述胶膜层进行刻蚀，形成多条相互平行的框条；在所述框条之上和所述框条的间隙处形成连续分布且厚度均匀的金属薄膜，所述金属薄膜的厚度小于相邻的所述框条之间间距的一半；在所述金属薄膜的缝隙处形成填充条；去除所述金属薄膜和所述填充条的上表面，形成上端断开且与所述填充条上端齐平的多个金属条；每相邻的两个所述金属条为一组，每组中两个所述金属条的底端相互连接；在所述填充条和所述金属条之上形成基底层；翻转所述衬底基板之后，通过去除所述剥离层的方式，剥离所述衬底基板；去除每组中两个所述金属条的底端相互连接的金属薄膜部分，形成金属光栅。