[发明专利]太阳能电池硅片的扩散方法、管式扩散炉、太阳能电池

摘要

本发明公开了一种太阳能电池硅片的扩散方法、管式扩散炉、太阳能电池，太阳能电池硅片的扩散方法包括步骤将硅片送至扩散炉管内；加热扩散炉管，以使扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高；对扩散炉管内的硅片进行扩散。上述太阳能电池硅片的扩散方法，通过加热扩散炉管使得扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高，则扩散炉管内工艺气体浓度较大的位置温度较低、工艺气体浓度较小的位置温度较高，由于工艺气体的浓度越大扩散电阻越小、扩散炉管的温度越高扩散电阻越小，则提高了扩散方阻的一致性，提高了扩散均匀性。

主权项

一种太阳能电池硅片的扩散方法，其特征在于，包括步骤：将硅片送至扩散炉管内；加热所述扩散炉管，以使所述扩散炉管内的温度沿工艺气体充入所述扩散炉管的方向增高；对所述扩散炉管内的硅片进行扩散。