[发明专利]一种卧式连续溅射双面镀膜设备在审
| 申请号： | 201710601995.0 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107267951A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 潘振强;朱宇彬 | 申请（专利权）人： | 广东振华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 526020 广东省肇庆市端*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜镀膜产品技术领域，具体公开卧式连续溅射双面镀膜设备，包括机架，安装在机架上的若干镀膜前预处理真空室、镀膜真空室和若干镀膜后处理真空室，以及对各真空室进行抽真空的抽气机组，还包括镀膜夹具托板和输送镀膜夹具托板的输送装置，所述镀膜真空室内上下均对称地设有一对平面溅射靶，所述镀膜真空室内设有带动镀膜夹具托板做往复运动的传动机构，所述传动机构包括安装在镀膜真空室两端部的同步传动轴和左右两侧的传动支架，两同步传动轴同一侧的端部之间通过传动副连接，所述镀膜夹具托板的左右两侧对应地连接在传动副上由传动副带动其运动。该镀膜设备能同时对待镀膜工件进行双面镀膜，镀膜效率高，镀膜产品均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 连续 溅射 双面 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种卧式连续溅射双面镀膜设备，包括机架，从左至右依次安装在机架上的若干镀膜前预处理真空室、镀膜真空室和若干镀膜后处理真空室，以及对各真空室进行抽真空的抽气机组，还包括用于安装镀膜夹具的镀膜夹具托板和输送镀膜夹具托板的输送装置，其特征在于：所述镀膜真空室内上下均对称地设有一对平面溅射靶，所述镀膜真空室内设有带动镀膜夹具托板做往复运动的传动机构，所述传动机构包括安装在镀膜真空室两端部的同步传动轴和左右两侧的传动支架，两同步传动轴同一侧的端部之间通过传动副连接，所述镀膜夹具托板的左右两侧对应地连接在传动副上由传动副带动其运动。
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