[发明专利]液处理装置和液处理方法

摘要

本发明提供一种液处理装置和液处理方法。能够减少对向基板供给的液体的流量进行调整时的流量调整机构的动作次数。液处理装置具备：基板处理部，其对基板供给流体；供给线，其向基板处理部供给流体；流量计，其测量在供给线中流动的流体的流量；流量调整机构，其对在供给线中流动的流体的流量进行调整；以及控制部，其基于流量计的测量结果来控制流量调整机构。控制部以第一周期接收流量计的测量结果。另外，在流量计的测量结果表示在供给线中流动的流体的流量包含在预先设定的范围中的情况下，控制部以时间间隔比第一周期的时间间隔长的周期通过流量调整机构对在供给线中流动的流体的流量进行调整。

主权项

一种液处理装置，具备：基板处理部，其对基板供给流体；供给线，其向所述基板处理部供给所述流体；流量计，其测量在所述供给线中流动的所述流体的流量；流量调整机构，其设置于所述供给线，对在所述供给线中流动的所述流体的流量进行调整；以及控制部，其基于所述流量计的测量结果来控制所述流量调整机构，其中，所述控制部以第一周期接收所述流量计的测量结果，在所述流量计的测量结果表示在所述供给线中流动的所述流体的流量包含在预先设定的范围中的情况下，所述控制部以时间间隔比所述第一周期的时间间隔长的周期，通过所述流量调整机构对在所述供给线中流动的所述流体的流量进行调整。