[发明专利]移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法

摘要

本发明提供一种移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法。其中，于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pa)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pa)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。

主权项

1.一种移动体装置，其具备：移动体，可保持物体的端部，与该物体一起至少在与水平面平行的既定二维平面内的既定范围移动；物体支承装置，具有可在包含0度的至少两阶段变更其一面相对前述二维平面的倾斜角度的第1构件，并且从下方非接触地支承在前述既定范围内，与前述移动体一起移动的前述物体；第1支承装置，具有一面，可从下方非接触地支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第1角度的第1状态的前述第1构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第1角度的第1移动面；第2支承装置，具有一面，可从下方非接触地支承前述物体，该一面与处于相对前述二维平面成第2角度的第2状态的前述第1构件的前述一面一起形成相对前述二维平面成前述第2角度的第2移动面；以及搬送系统，包含使前述物体沿前述第1移动面移动的第1搬送系统与使前述物体沿前述第2移动面移动的第2搬送系统；藉由前述第1及第2搬送系统的一方将前述物体从前述物体支承装置上搬出，且藉由前述第1及第2搬送系统的另一方将其他物体搬入前述物体支承装置上，前述移动体，在保持被前述物体支承装置非接触地支承的前述其他物体的端部的状态下，可相对前述物体支承装置相对移动。