[发明专利]一种实时监测机台稳定性的装置、方法及光刻机机台有效
| 申请号： | 201710586311.4 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN109270797B | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 周榆涵;朱涛;胡诗一 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种实时监测机台稳定性的装置、方法及光刻机机台，至少包括：依次通过所述扩束镜和所述楔形光学平板，将从所述晶圆平台射出的光束，转变为干涉图案，所述干涉图案由所述图像接收器所接收，通过判断所述干涉图案是否倾斜来判断所述晶圆平台是否在所述物镜的焦距位置，并且可以通过测量倾斜的角度来确定晶圆平台的偏移量是否在允许范围内。通过本发明的装置和监测方法可以实时监测机台的曝光光线焦点是否聚焦在晶圆平台上，以使晶圆光阻达到最佳的曝光条件，保证机台的稳定运行，并且监测周期短，机台的利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 监测 机台 稳定性 装置 方法 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种实时监测机台稳定性的装置，所述机台至少包括晶圆平台和位于所述晶圆平台上方的物镜，其特征在于，所述装置至少包括扩束镜、楔形光学平板和图像接收器；所述扩束镜用于布置在所述晶圆平台的下方，并用于接收从所述晶圆平台射出的光束，且所述扩束镜与所述晶圆平台之间的距离为所述物镜的焦距；所述楔形光学平板布置在所述扩束镜的下方，用于反射从所述扩束镜射出的光束，形成两组相干光波；所述图像接收器布置在所述两组相干光波的出射路径上，用于接收并显示所述两组相干光波所形成的干涉图案。
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