[发明专利]动态随机存取存储器及其制造方法

摘要

本发明提供一种动态随机存取存储器及其制造方法，包括：衬底、多个隔离结构、多个字线组、多个位线结构、多个间隙壁、多个电容器以及多个电容器接触窗。隔离结构位于衬底中，以将衬底分隔成多个有源区。有源区被配置成带状且排列成一阵列。字线组沿着Y方向平行配置于衬底中。位线结构沿着X方向平行配置于衬底上，且横越字线组。间隙壁沿着X方向平行配置于位线结构的侧壁上，其中间隙壁包括氧化硅。电容器分别配置于有源区的长边的两端点上。电容器接触窗分别位于电容器与有源区之间。

主权项

1.一种动态随机存取存储器，其特征在于，所述动态随机存取存储器包括：多个隔离结构，位于衬底中，以将所述衬底分隔成多个有源区，所述有源区被配置成带状且排列成一阵列；多个字线组，沿着Y方向平行配置于所述衬底中；多个位线结构，沿着X方向平行配置于所述衬底上，且横越所述字线组；多个间隙壁，沿着所述X方向平行配置于所述位线结构的侧壁上，其中所述间隙壁包括氧化硅；多个电容器，分别配置于所述有源区的长边的两端点上；以及多个电容器接触窗，分别位于所述电容器与所述有源区之间。