[发明专利]偏振光分束器及使用了该偏振光分束器的基板处理装置有效
| 申请号： | 201710559592.4 | 申请日： | 2013-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN107272095B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;铃木哲男;镰田刚忠;荒井正范;北纮典 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B5/04 | 分类号： | G02B5/04;G02B5/08;G02B5/30;G03F7/20;G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振光 分束器 使用 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种偏振光分束器，具备：第1棱镜；第2棱镜，其具有与所述第1棱镜的一个面相对的面；和偏振膜，其以使得从所述第1棱镜朝向所述第2棱镜的入射光束根据偏振状态而分离为向所述第1棱镜侧反射的反射光束或向所述第2棱镜侧透射的透射光束的方式，设于所述第1棱镜与所述第2棱镜相对的面之间，并将以二氧化硅为主成分的第1膜体和以氧化铪为主成分的第2膜体在膜厚方向层叠而成。
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