[发明专利]一种光刻胶组合物及制备方法有效
| 申请号： | 201710552426.1 | 申请日： | 2017-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN107145037B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;汪建国 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/021 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及高分子技术领域，特别是涉及一种光刻胶组合物及制备方法。根据本发明的光刻胶组合物包括：30‑45重量份的树脂、0.02‑0.2重量份的背景染料、55‑70重量份的有机溶剂；所述树脂包括感光树脂和成膜树脂，所述感光树脂包括重氮萘醌树脂和二苯胺重氮树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶组合物，其特征在于，包括：30‑45重量份的树脂、0.02‑0.2重量份的背景染料、55‑70重量份的有机溶剂；所述树脂包括感光树脂和成膜树脂，所述感光树脂包括重氮萘醌树脂和二苯胺重氮树脂。
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