[发明专利]单晶硅生长用石英坩埚内筒体及其碳纤维烧结筒以及它们的制备方法有效
| 申请号： | 201710471253.0 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN109097823B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 袁佳斌 | 申请（专利权）人： | 常州博科浩纳知识产权服务有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 常州市江海阳光知识产权代理有限公司 32214 | 代理人： | 翁坚刚 |
| 地址： | 213022 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶硅生长用石英坩埚内筒体及其碳纤维烧结筒以及它们的制备方法。所述的石英坩埚内筒体由碳纤维烧结筒和围绕碳纤维烧结筒设置的石英烧结材料构成。该石英烧结材料为覆盖在碳纤维烧结筒上的石英粉经烧结而成的一体件。所述碳纤维烧结筒是由碳纤维编织成的织物绕成的圆筒状物体经过高温在充满氮气的状态或真空状态下烧结而成的上下贯通的筒状烧结物，并且碳纤维烧结筒的侧壁上设有至少2个液流孔和多个呈分散状分布的石英孔。坩埚内筒体的侧壁上设置数量与液流孔数量相同的物料通过孔。本发明与相应的坩埚外埚体配合使用后，可分离杂质，能够实现投料、化料、晶体生长及分离杂质同步进行且高温持续工作时间长。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 生长 石英 坩埚 内筒体 及其 碳纤维 烧结 以及 它们 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅生长用石英坩埚内筒体的碳纤维烧结筒，其特征在于：所述的碳纤维烧结筒（1）是由碳纤维编织成的织物绕成的圆筒状物体在充满氮气的状态或真空状态下烧结而成的上下贯通的筒状烧结物，并且碳纤维烧结筒（21）的侧壁上设有至少2个液流孔（21‑1）和多个呈分散状分布的石英孔（21‑2）。
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