[发明专利]一种精细图案的制作方法及显示装置有效
| 申请号： | 201710457815.6 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN107024833B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王志强;陈荣龙;李明龙;殷鹏飞;马纪艳;高鸿飞 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种精细图案的制作方法及显示装置，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精细 图案 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种精细图案的制作方法，其特征在于，包括：在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，所述特定凸版图形与待形成的精细图案一致；利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶；在具有所述固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层；去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，以利用剩余的所述膜层区域在所述显示基板上形成所需的精细图案。
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