[发明专利]一种膜片结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201710444180.6 | 申请日： | 2017-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107215844B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 倪藻;李昕欣;焦鼎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜片结构，所述膜片结构至少包括悬空支撑在单晶硅片上方的膜片和沿所述膜片外围排列的释放孔。本发明另提供一种基于上述膜片结构的压力敏感膜结构，所述压力敏感膜结构包括梁‑岛结构、外框、薄膜、沿外框排布的释放孔和分布在岛上的释放孔。膜片结构的释放孔没有贯穿整个膜片区域，保证了膜片结构的完整性和对称性，具有更好的机械性能，同时膜片中部可以自由地设计各种结构，不需要受释放孔的限制，具有更广阔的应用空间。本发明所述的压力敏感膜结构由上述膜片结构经局部刻蚀减薄加工而成，避免了在脆弱的薄膜区域布置释放孔，在改善机械性能的同时提高可靠性。同时在岛上的释放孔可以显著缩短腐蚀时间，大幅提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜片 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力敏感膜结构，其特征在于，所述压力敏感膜结构至少包括悬空支撑在(111)单晶硅片上的膜片，所述膜片包括位于所述膜片外围的外框和由所述外框包围的薄膜及梁-岛结构，所述外框中排列有释放孔，其中，所述外框为六边形，所述释放孔至少分布在所述外框两条相邻的边以及各自的对边上；所述薄膜位于所述梁-岛结构的两侧，所述梁-岛结构中的梁和岛间隔排列且通过所述梁与所述外框中未分布有释放孔的两条边相连，且所述梁-岛结构的岛中制作有所述释放孔。/n
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