[发明专利]高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法

摘要

高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法，它涉及一种基材蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法。本发明的目的是要解决现有基材蒸镀锂设备对金属锂的利用率低，蒸镀厚度为≤1μm，蒸镀时污染范围大的问题。高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备包括机体外壳、腔体挡板、放卷系统、基材加热器、主辊、冷却辊、收卷系统、坩埚、坩埚固定架、坩埚加热器、保温层、坩埚横移升降平台、放卷过渡辊、加热过渡辊、冷却过渡辊、上腔真空阀门、下腔真空阀门和加料可视窗口；方法：保证蒸镀厚度范围1μm～100μm之间可随时调整，金属锂最高利用率可达到90％以上。本发明主要用于基材蒸镀锂。

主权项

1.高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备，其特征在于高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备包括机体外壳(1)、腔体挡板(2)、放卷系统(3)、基材加热器(4)、主辊(5)、冷却辊(6)、收卷系统(7)、坩埚(8)、坩埚固定架(9)、坩埚加热器(10)、保温层(11)、坩埚横移升降平台(12)、放卷过渡辊(13)、加热过渡辊(14)、冷却过渡辊(15)、上腔真空阀门(16)、下腔真空阀门(17)和加料可视窗口(18)；由腔体挡板(2)和机体外壳(1)将高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备分隔成上腔体和下腔体，所述放卷系统(3)、基材加热器(4)、冷却辊(6)和收卷系统(7)设置在高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备的上腔体中，所述放卷过渡辊(13)设置在放卷系统(3)和基材加热器(4)之间，所述加热过渡辊(14)设置在主辊(5)和基材加热器(4)之间，所述冷却过渡辊(15)设置在主辊(5)和冷却辊(6)之间；所述坩埚(8)、坩埚固定架(9)、坩埚加热器(10)、保温层(11)和坩埚横移升降平台(12)设置在高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备的下腔体中，所述坩埚固定架(9)与机体外壳(1)内壁固定连接，所述保温层(11)设置在坩埚横移升降平台(12)上，利用保温层(11)包覆坩埚加热器(10)用于保温，所述坩埚(8)承载在坩埚固定架(9)上，当蒸镀锂时，所述坩埚(8)置于坩埚加热器(10)内，且所述坩埚(8)的顶部与主辊(5)呈曲面平行，坩埚(8)摆放与主辊方向一致，调整坩埚横移升降平台(12)，使坩埚(8)与主辊(5)表面基材的距离为5mm～20mm；在上腔体侧壁上设置上腔真空阀门(16)，在下腔体侧壁上部设置下腔真空阀门(17)，在下腔体侧壁顶部设置加料可视窗口(18)；所述主辊(5)穿过腔体挡板(2)，一部分处于上腔体中，另一部分处于下腔体中，且主辊(5)与腔体挡板(2)的距离为5mm～10mm；所述高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备还包括镀层检测系统，利用镀层检测系统检测冷却辊(6)与冷却过渡辊(15)之间基材表面镀层厚度；所述高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备还包括抽真空系统，利用抽真空系统对高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备的上腔体和下腔体进行抽真空处理；所述高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备还包括PLC控制系统，利用PLC控制系统控制高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备运作；所述高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备还包括坩埚冷却系统，所述坩埚冷却系统包含冷却油、坩埚可控硅和坩埚冷却机，所述坩埚固定架(9)的侧壁为中空结构，冷却油装载在坩埚固定架(9)侧壁的中空结构内，利用冷却油对坩埚(8)进行油冷，利用坩埚可控硅和坩埚冷却机对冷却油进行循环冷却。