[发明专利]冷却装置、单晶炉和晶棒的冷却方法有效
| 申请号： | 201710424211.1 | 申请日： | 2017-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN108998829B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 赵向阳 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷却装置、单晶炉和晶棒的冷却方法。冷却装置包括：第一冷却件、温度检测装置、驱动装置和控制装置。所述温度检测装置用于检测所述晶棒的温度信息。所述控制装置用于根据温度检测装置检测的温度信息，判断所述第一冷却件是否环绕所述晶棒上温度处于一预定温度区间的部分。所述控制装置还用于根据温度检测装置检测的温度信息控制驱动装置以驱动所述第一冷却件移动，以使所述第一冷却件环绕所述晶棒上温度处于一预定温度区间的部分。其中，所述晶棒的点缺陷析出长大的温度在所述预定温度区间内。本发明通过第一冷却件吸热冷却所述晶棒上温度处于一预定温度区间的部分，可以避免晶棒内的点缺陷析出长大形成微缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 单晶炉 方法 | ||
【主权项】：
1.一种冷却装置，其特征在于，所述冷却装置用于冷却单晶炉中生长的晶棒，所述冷却装置包括：一第一冷却件，所述第一冷却件用于吸热；一温度检测装置，所述温度检测装置用于检测所述晶棒的温度信息；一驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述第一冷却件移动；一控制装置，所述控制装置分别与所述温度检测装置和所述驱动装置连接，所述控制装置用于接收所述温度检测装置发送的温度信息，所述控制装置用于根据接收的温度信息，判断所述第一冷却件是否环绕所述晶棒上温度处于一预定温度区间的部分，所述控制装置还用于根据接收的温度信息控制所述驱动装置驱动所述第一冷却件移动，以使所述第一冷却件环绕所述晶棒上温度处于一预定温度区间的部分，其中，所述晶棒的点缺陷析出长大的温度在所述预定温度区间内。
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