[发明专利]用于选择性区域沉积的集成集群工具

摘要

本文所述实施方式涉及用于处理基板的装置和方法。在一个实施方式中，提供一种集群工具装置，所述集群工具装置具有传递腔室和围绕所述传递腔室设置的预清洁腔室、自组装单层(self‑assembled monolayer；SAM)沉积腔室、原子层沉积(atomic layer deposition；ALD)腔室和后处理腔室。基板可被集群工具处理并在预清洁腔室、SAM沉积腔室、ALD腔室和后处理腔室之间传递。基板在每个所述腔室之间的传递可通过容纳有传递机器人的传递腔室来促进。

主权项

一种基板处理装置，包含：平台，所述平台具有中心设置的传递腔室；第一处理腔室，所述第一处理腔室耦接至所述传递腔室，所述第一处理腔室经构造以执行表面改性工艺；第二处理腔室，所述第二处理腔室耦接至所述传递腔室，所述第二处理腔室经构造以执行自组装单层处理工艺；第三处理腔室，所述第三处理腔室耦接至所述传递腔室，所述第三处理腔室经构造以执行原子层沉积工艺；以及第四处理腔室，所述第四处理腔室耦接至所述传递腔室，所述第四处理腔室经构造以执行退火工艺。