[发明专利]电化学处理器中的密封环有效
| 申请号： | 201710300716.7 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107275292B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 诺兰·L·齐默曼;乔治·马汀格;格雷戈里·J·威尔逊;埃里克·A·英格哈特;拉姆齐·巴拉穆鲁加恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L23/16 | 分类号： | H01L23/16 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于电化学处理器的密封环，所述密封环在按压抵靠晶片表面时不横向滑移或偏转。所述密封环可在处理器的转子上，其中密封环具有外壁，所述外壁通过末端接合至尖端圆弧。所述外壁可为直壁。相对刚性的支撑环可附接至密封环，以提供更精确的密封尺寸。也可使用在晶片表面上横向地滑移或偏转的刀口密封环。在这些设计中，滑移是大体上均匀且一致的，从而产生改进的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 处理器 中的 密封 | ||
【主权项】：
1.一种用于电化学处理器(20)中使用的密封件，包括：/n密封环(100)，所述密封环(100)具有平坦、水平顶表面(103)；/n圆弧段(110)，所述圆弧段(110)在所述密封环的内径处从所述密封环的所述平坦水平顶表面延伸至所述密封环的垂直直分段(112)；/n尖端圆弧(116)，所述尖端圆弧(116)位在所述密封环上，具有在外壁(120)底端处的末端半径(118)，以用于接触在所述电化学处理器中被处理的基板(50)，所述外壁平行于所述垂直直分段；/n支撑环(104)，所述支撑环(104)支撑所述密封环，所述支撑环的内边缘插入在所述密封环中的面向外的水平凹槽(106)。/n
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