[发明专利]负热膨胀系数材料在镀膜载盘中的应用及负热膨胀型载盘有效
| 申请号： | 201710270209.3 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN107190244B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 彭振维;林建豪;王洋洋;沈美玲 | 申请（专利权）人： | 盐城金合盛光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 南京汇恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32282 | 代理人： | 夏恒霞 |
| 地址： | 224700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明首先公开了负热膨胀系数材料在镀膜载盘上的应用，以及局部或全部由负热膨胀系数材料制成的负热膨胀型载盘，鉴于负热膨胀系数材料的特殊性能，制成的负热膨胀型载盘应用在PECVD或PVD镀膜机上进行镀膜时，在高温制程下能够有效减少对硅片的遮蔽面积，从而提升太阳能电池的效率和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 热膨胀 系数 材料 镀膜 中的 应用 型载盘 | ||
【主权项】：
1.一种负热膨胀型载盘，其特征在于，该载盘局部由负热膨胀系数材料制成，载盘包括框体和设置于框体边缘的托举部，相邻两个托举部之间留有间隙；所述框体上半部由铝或不锈钢制成，所述框体下半部和托举部均由负热膨胀系数材料制成，所述托举部的顶面低于所述框体下半部的顶面；所述负热膨胀系数材料选自以下材料中的任一种：Y2(WO4)3、Er2(WO4)3、Yb2(WO4)3、Lu2(WO4)3、Sc2(WO4)3、Y2(MoO4)3、Er2(MoO4)3、Yb2(MoO4)3、Lu2(MoO4)3及Sc2(MoO4)3。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盐城金合盛光电科技有限公司，未经盐城金合盛光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710270209.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
